無(wú)塵室干燥箱，試驗用百級烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無(wú)塵室干燥箱，試驗用百級烤箱概述
百級潔凈烤箱也稱(chēng)作無(wú)塵烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無(wú)塵室干燥箱，試驗用百級烤箱特點(diǎn)
Ø 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
Ø 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
Ø 采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100；
Ø 強制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結構，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到溫度控制精度。
技術(shù)參數
主要技術(shù)指標
Ø 無(wú)塵等級：Class 100;
Ø 溫度范圍：RT+10～200、300℃；
Ø 溫度均勻度：±2℃;
Ø 溫度波動(dòng)度：±0.5℃；
Ø 溫控精度：±0.1℃;
Ø 進(jìn)風(fēng)口：N2進(jìn)氣、流量計控制;
Ø 排風(fēng)口：排風(fēng)管;
Ø 電源：380v , 50Hz；
Ø保護裝置：超溫保護，漏電斷路器、控制線(xiàn)路保險絲裝置、 超溫保護裝置、 電熱過(guò)電流保護裝置、馬達過(guò)電流保護、 反向保護裝置、內襯防火材料、機臺異常蜂鳴器、門(mén)面安全開(kāi)關(guān)。
Ø 網(wǎng)板：2-5層，不銹鋼加工圓孔托盤(pán)；
Ø 潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實(shí)現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。
無(wú)氧烤箱，智能無(wú)氧烤箱
一．無(wú)氧烤箱，智能無(wú)氧烤箱概述
無(wú)氧化烤箱在工作時(shí)，工作室內充滿(mǎn)了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無(wú)氧烤箱箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等。智能無(wú)氧烤箱可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進(jìn)行監控和控制。
智能制造主要指生產(chǎn)線(xiàn)現場(chǎng)的生產(chǎn)過(guò)程管理、現場(chǎng)監控和控制等，包括智能工廠(chǎng)生產(chǎn)過(guò)程的數據采集及分析，實(shí)現生產(chǎn)過(guò)程、設備、資源監控的可操作和可視化；要能支持采集不同現場(chǎng)設備數據的要求，支持將生產(chǎn)數據及設備故障信息顯示在監控站的屏幕上，實(shí)現生產(chǎn)過(guò)程的動(dòng)態(tài)監控與管理；實(shí)現智能設備、機器人和生產(chǎn)線(xiàn)、用戶(hù)全流程互聯(lián)對話(huà)，實(shí)現人機、機機互聯(lián)下的高品質(zhì)、高效、柔性自動(dòng)化生產(chǎn)等。
二．無(wú)氧烤箱，智能無(wú)氧烤箱技術(shù)參數
1、主要技術(shù)指標
Ø 含氧量：<100/50/20ppm;
Ø 溫度范圍： RT（室溫）+10～ +200/450℃；
Ø 溫度均勻度：±1℃;
Ø 溫度波動(dòng)度：±0.5℃;（空載）
Ø 溫控精度：0.1℃;
Ø 烘箱擱板為活動(dòng)形式;
2、箱體結構
Ø 外殼材料：優(yōu)質(zhì)冷軋板，表面磷化處理后平光漆
Ø 內膽材料：優(yōu)質(zhì)鏡面不銹鋼滿(mǎn)焊制作
Ø 隔 板：2-5層不銹鋼網(wǎng)版
Ø 保溫材料：厚度90毫米硅酸鋁保溫棉，保溫性能良好
Ø 溫控裝置：智能LED雙數顯高精度溫度控制系統，控溫精度±1℃，溫度為室溫至300℃任意調節，并具有PID自整定，自動(dòng)恒溫等功能
Ø 超溫保護:獨立配置超溫保護儀，超過(guò)溫度上限，自動(dòng)報警并主動(dòng)切斷加熱
Ø 固態(tài)輸出：SSR無(wú)觸點(diǎn)繼電器模塊，靈敏度高，壽命長(cháng)
Ø 測溫裝置：不銹鋼鎧甲PT100傳感器、K分度熱電偶傳感器，精確測溫，放心使用
Ø 定時(shí)裝置：高精度數顯自動(dòng)定時(shí)器，0-99.99小時(shí)恒溫時(shí)間設定，可預設烘烤時(shí)間
Ø 報警系統：APT/AD16型聲光報警系統，時(shí)間到聲光報警并自動(dòng)切斷加熱
Ø 電器元件：采用電器
Ø 安全裝置：漏電，短路，過(guò)載保護；鼓風(fēng)電機過(guò)載缺相保護
三．無(wú)氧烤箱，智能無(wú)氧烤箱運行監控分析技術(shù)
智能無(wú)塵烤箱運行監控分析技術(shù)，通過(guò)物聯(lián)網(wǎng)向制造企業(yè)提供針對產(chǎn)品的遠程智能服務(wù)，包括遠程監控、遠程預警、遠程維護、數據分析等。智能服務(wù)拓展到產(chǎn)品的全生命周期管理。產(chǎn)品智能化服務(wù)系統包括產(chǎn)品遠程監護與維護平臺、基于大數據挖掘的產(chǎn)品使用分析系統、智能APP自助服務(wù)系統，實(shí)現功能包括以下幾類(lèi)：
● 對各類(lèi)產(chǎn)品的多種數據進(jìn)行采集、存儲；
● 及時(shí)分析用戶(hù)使用典型行為；
● 為客戶(hù)提供優(yōu)化解決方案及實(shí)時(shí)監控產(chǎn)品使用情況的綜合服務(wù)；
● 產(chǎn)品智能化服務(wù)的成功應用可以大大提高工作效率，服務(wù)維護成本顯著(zhù)降低，產(chǎn)品差異化程度提升。
