無(wú)塵烤箱廠(chǎng)家無(wú)塵等級：Class 100、10; 溫度范圍：RT+10～300℃；用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤
無(wú)塵烤箱廠(chǎng)家
維護保養
1． 檢查通風(fēng)口是否堵塞，并清理積塵。
2． 風(fēng)機運轉是否正常。
3． 維修工檢查電流是否正常。
4． 檢查溫控器是否準確，如不準確，請調整溫控器的靜態(tài)補償或傳感器修正值。
5． 檢查發(fā)熱管有無(wú)損壞，線(xiàn)路是否老化。
6． 檢查延時(shí)器是否準確，誤差是否允許。
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無(wú)塵烤箱廠(chǎng)家應用
用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
技術(shù)指標
無(wú)塵等級：Class 100、10;
溫度范圍：RT+10～300℃；
溫度均勻度：±2℃;
溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作室尺寸：W1600×D1600×H1000（mm） （可定做）
電源：380v , 50Hz，6KW
網(wǎng)板：2塊（高度可調節)
無(wú)塵等級：Class 100、10; 溫度范圍：RT+10～300℃；用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
