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無(wú)氧化烤箱 工業(yè)烘箱

無(wú)氧化烤箱 工業(yè)烘箱

簡(jiǎn)要描述:

無(wú)氧化烤箱,高溫無(wú)氧固化爐利用充氮氣提供無(wú)氧化烘烤空間, 確保產(chǎn)品不氧化。適用于IC封裝、晶圓烘烤、PI固化、BCB膠固化、ITO模具退火、鍍膜制程等半導體行業(yè),電子行業(yè)及各種產(chǎn)業(yè)應用。

無(wú)氧化烤箱概述:

  利用充氮氣提供無(wú)氧化烘烤空間, 確保產(chǎn)品不氧化。適用于IC封裝、晶圓烘烤、PI固化、BCB膠固化、ITO模具退火、鍍膜制程等半導體行業(yè),電子行業(yè)及各種產(chǎn)業(yè)應用。

無(wú)氧化烤箱結構:

1.箱體結構:

內箱采用SUS304鏡面不銹鋼制作,以全周氬弧焊無(wú)縫處理;

外箱采用SUS304不銹鋼或優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑處理;

外箱保溫材質(zhì)採用高級超細保溫棉,六面保溫斷熱,機臺表面溫度低。

2.氣體系統:

馬達軸心以特殊軸封密閉,氣密性佳,含氧量可低至50PPM以上;

箱體內裝有氧含量分析儀,全稱(chēng)檢測氧含量;

排氣口采用自動(dòng)風(fēng)門(mén)設計以達到強烈的循環(huán)效果及快速降溫,進(jìn)氣口加附N2流量計控制進(jìn)氣量。

3.熱風(fēng)循環(huán)系統:

特殊節約能源高效率送風(fēng)結構;

采用不銹鋼覆套式無(wú)塵無(wú)氧化電熱發(fā)生器;

箱體后部裝有離心循環(huán)風(fēng)機、氮氣進(jìn)氣口和排氣口,離心風(fēng)機將箱內加熱的熱風(fēng)與進(jìn)氣口的新鮮氮氣混合,一部分氣體混合烘干處理產(chǎn)生的廢氣物從排氣口排出,大部分氣體進(jìn)入箱體兩側的循環(huán)風(fēng)道,攜帶加熱器產(chǎn)生的熱量,進(jìn)入箱體內對產(chǎn)品進(jìn)行加熱烘烤,然后由離心風(fēng)機重新吸回,從而往返循環(huán)。

4.降溫系統:

 風(fēng)冷或水冷卻循環(huán)系統。

5.溫控系統:

 采用高精度溫度控制器,內置斜率設定、PID自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多種功能。

 

  

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