無(wú)氧化烤箱，高溫無(wú)氧固化爐利用充氮氣提供無(wú)氧化烘烤空間， 確保產(chǎn)品不氧化。適用于IC封裝、晶圓烘烤、PI固化、BCB膠固化、ITO模具退火、鍍膜制程等半導體行業(yè)，電子行業(yè)及各種產(chǎn)業(yè)應用。
無(wú)氧化烤箱概述：
利用充氮氣提供無(wú)氧化烘烤空間， 確保產(chǎn)品不氧化。適用于IC封裝、晶圓烘烤、PI固化、BCB膠固化、ITO模具退火、鍍膜制程等半導體行業(yè)，電子行業(yè)及各種產(chǎn)業(yè)應用。
無(wú)氧化烤箱結構：
1.箱體結構：
內箱采用SUS304鏡面不銹鋼制作，以全周氬弧焊無(wú)縫處理；
外箱采用SUS304不銹鋼或優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑處理；
外箱保溫材質(zhì)採用高級超細保溫棉，六面保溫斷熱，機臺表面溫度低。
2.氣體系統：
馬達軸心以特殊軸封密閉，氣密性佳，含氧量可低至50PPM以上；
箱體內裝有氧含量分析儀，全稱(chēng)檢測氧含量；
排氣口采用自動(dòng)風(fēng)門(mén)設計以達到強烈的循環(huán)效果及快速降溫，進(jìn)氣口加附N2流量計控制進(jìn)氣量。
3.熱風(fēng)循環(huán)系統：
特殊節約能源高效率送風(fēng)結構；
采用不銹鋼覆套式無(wú)塵無(wú)氧化電熱發(fā)生器；
箱體后部裝有離心循環(huán)風(fēng)機、氮氣進(jìn)氣口和排氣口，離心風(fēng)機將箱內加熱的熱風(fēng)與進(jìn)氣口的新鮮氮氣混合，一部分氣體混合烘干處理產(chǎn)生的廢氣物從排氣口排出，大部分氣體進(jìn)入箱體兩側的循環(huán)風(fēng)道，攜帶加熱器產(chǎn)生的熱量，進(jìn)入箱體內對產(chǎn)品進(jìn)行加熱烘烤，然后由離心風(fēng)機重新吸回，從而往返循環(huán)。
4.降溫系統：
風(fēng)冷或水冷卻循環(huán)系統。
5.溫控系統：
采用高精度溫度控制器，內置斜率設定、PID自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多種功能。
