HMDS預處理系統通過(guò)對烘箱預處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS真空烘箱技術(shù)參數：
電源電壓：AC 220V±10%/50Hz±2%
輸入功率：2400W
控溫范圍：RT+10℃-250℃
溫度分辨率：0.1℃
溫度波動(dòng)度：±0.5℃
達到真空度：133Pa
容積：90L
工作室尺寸（mm）：450*450*450
載物托架：2塊
時(shí)間單位：min
二、HMDS真空烘箱特點(diǎn)：
1、 采用醫用級不銹鋼316L材質(zhì)制造，內膽為不銹鋼316L；加熱器均勻分布在內膽
外壁四周，內膽內無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門(mén)觀(guān)
察工作室內物體一目了然。
2、 箱門(mén)閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門(mén)封圈，確保箱內高真空度。
3、 微電腦智能控溫儀，具有設定，測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能，控溫
精確，可靠。
4、 智能化觸摸屏控制系統配套進(jìn)口PLC模塊可供用戶(hù)根據不同制程條件改變程序，
溫度，真空度及每一程序時(shí)間。
5、 HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無(wú)外
漏顧慮。
6、 整個(gè)系統采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無(wú)發(fā)塵材料，適用100 級光刻間凈化環(huán)境。
