晶圓百級潔凈烤箱，可編程潔凈烘箱一種采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100的潔凈烘箱
晶圓百級潔凈烤箱，可編程潔凈烘箱概述
晶圓百級潔凈烤箱，可編程潔凈烘箱一種采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100的潔凈烘箱
特點(diǎn)
Ø 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
Ø 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
Ø 采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100；
Ø 強制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結構，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到預定溫度控制精度。
配件
Ø 高性能程序控制器PF900 TOPPAGE
a) 一目了然、直觀(guān)的顯示
b) 搭載了新的控制算法「RSS(升降溫?恒溫?穩定)」
c) 程序程式輸出功能(多3點(diǎn))
d) 大容量 多1024段程序
e) 雙模式信號輸出
f) 對應各種狀況(程式終止狀態(tài)、等待判斷等)
g) 綜合管理大量的設定值，存儲組功能
h) 程序聯(lián)合運行功能(控制器間的通信)
i) 前面板接口通信+程序設定工具
Ø 耐高溫高效空氣過(guò)濾器(HEPA)
a) 特點(diǎn)：效率高、阻力低、容塵量大；
b) 外框材質(zhì)：不銹鋼;
c) 材料：超細玻璃纖維濾紙;
d) 隔板：鋁箔;
e) 過(guò)濾效率：≥99.99%;
f) 顯示直觀(guān)，操作簡(jiǎn)單
