高溫無(wú)塵無(wú)氧烘箱，晶圓無(wú)氧烤箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).
高溫無(wú)塵無(wú)氧烘箱，晶圓無(wú)氧烤箱?概述
高溫無(wú)塵無(wú)氧烘箱，晶圓無(wú)氧烤箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).
技術(shù)指標
Ø 潔凈度：class 100，設備采用無(wú)塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境
Ø 升溫時(shí)間：5-8℃/min，（空箱測試）
Ø 降溫時(shí)間：可滿(mǎn)足130℃-50℃，降溫5℃/min（空箱測試）
Ø 氧含量
(配氧含量分析儀)高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量
Ø 數據輸出：溫度和氧含量無(wú)紙記錄儀
?安全保護性能
Ø 報警功能： 1）三色燈 2） 超溫報警 3）熱電偶故障報警 4）低水壓報警
Ø 安保功能：1）短路保護
2）漏電保護
3）超溫保護，獨立感溫式超溫保護器
4）電機保護，電機過(guò)電流、水冷保護
5）電磁門(mén)禁保護，當溫度超過(guò)100℃，電子鎖自動(dòng)鎖緊，防止高溫開(kāi)門(mén)
設備環(huán)境安裝條件
Ø 環(huán)境溫、濕度5℃～＋35℃，相對濕度：≤85%；
Ø 周?chē)鸁o(wú)強烈震動(dòng)；
Ø 無(wú)陽(yáng)光直接照射或其它熱源直接輻射，
Ø 周?chē)鸁o(wú)強烈電磁場(chǎng)影響；
Ø 周?chē)鸁o(wú)高濃度粉塵及腐蝕性物質(zhì)；
Ø 百級潔凈車(chē)間；
Ø 周?chē)鸁o(wú)強烈氣流，當周?chē)諝庑枰獜娭屏鲃?dòng)時(shí)，氣流不應在直接吹到箱體上；
Ø 設備應放在堅固平穩的平面上，并使其保持水平狀態(tài)；
Ø 安裝設備使用空開(kāi)電源 ；
