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硅片清洗設備,硅片全自動(dòng)清洗機應用于集成電路,MEMS器件,微波器件,先進(jìn)封裝等工藝。去膠清洗設備,顯影清洗設備,酸堿刻蝕機。也可用于零部件清洗,石英管道清洗,外延片清洗(砷化鎵,氮化鎵,碳化硅,鈮酸鋰等
刻蝕機,半導體刻蝕臺用于半導體芯片、襯底片的清洗及濕法腐蝕、去膠、去蠟、剝離等工藝的設備。