真空烤箱 可程式真空箱 自動(dòng)真空烘箱專(zhuān)為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質(zhì)而設計，能夠向內部充入惰性氣體，特別是一些成分復雜的物品也能進(jìn)行快速干燥。

真空無(wú)氧化烤箱（BCB厭氧固化烤烘箱）是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無(wú)氧烘箱中，通入N2→真空置換后，采用多級升溫保溫的方式，在規定的時(shí)間從室溫升至第一溫度階段，并在該溫度段保溫1-2h，再在規定的時(shí)間從第一溫度升至第二溫度階段，并在該溫度段保溫一定的時(shí)間；隨后增通過(guò)輔助的降溫系統（水冷和風(fēng)冷），將退火爐的溫度降至80度左右，完成固化。

小型蒸發(fā)鍍膜儀，實(shí)驗室氣相沉積設備 用于真空蒸發(fā)鍍光學(xué)薄膜、有機物薄膜和金屬薄膜、在襯底上沉積各單層金屬 膜，主要用于蒸鍍電極及有機半導體材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗研究 。特別適合于高科技企業(yè)、科研單位和高校用于膜層研究和膜系開(kāi)發(fā)。

抗粘 劑氣相涂布烘箱，抗粘劑 氣相沉積系統主要用于納米壓印光刻（NIL）應用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中硅烷涂膠；以及功率半導體,LED,MEMS,半導體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。

芯片真空儲存柜，半導體真空氮氣柜半導體、電路板、電子成品、芯片、電池板、電池片、電子元器件、高級金屬制品、厭氧產(chǎn)品、易氧化產(chǎn)品等）及機金屬加工件與各類(lèi)不便于冷藏的食品，還有書(shū)籍、衣物等厭氧物品的真空存貯，以防潮、防氧化變色。適用于工廠(chǎng)、高等院校、科研等場(chǎng)所。

真空儲存柜，真空干燥柜適用于各類(lèi)化工原料、貴重金屬、金屬粉末等各種固體、粉狀、糊狀、液體，電子產(chǎn)品（半導體、電路板、電子成品、芯片、電池板、電池片、電子元器件、高級金屬制品、厭氧產(chǎn)品、易氧化產(chǎn)品等）及機金屬加工件與各類(lèi)不便于冷藏的食品，還有書(shū)籍、衣物等厭氧物品的真空存貯，以防潮、防氧化變色。適用于工廠(chǎng)、高等院校、科研等場(chǎng)所。

抗粘劑涂膠機，抗粘 劑真空預處理系統用于半導體，光電、電子行業(yè)硅片或石英硬模板等材料，如制備各種微納電子器件、光學(xué)器件、光電器件、存儲器、微流體通道、生物芯片等微納結構制備方面的應用。