真空固化烤箱,防氧化真空系統用于鍵合前鍵合材料的真空處理 、ITO膜退火,PR膠排膠固化等工藝。廣泛應用于半導體、電子產(chǎn)品、醫療衛生等行業(yè),適用于工廠(chǎng)、高等院校、科研等場(chǎng)所。
HMDS烘箱、HMDS預處理系統降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。
12寸HMDS真空烤箱,芯片HMDS烘箱過(guò)對烘箱預處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
光刻膠無(wú)塵烘箱,電子陶瓷固化烤箱主要應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料等無(wú)塵烘干的特殊工藝要求。