12寸HMDS真空烤箱，芯片HMDS烘箱過(guò)對烘箱預處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
12寸HMDS真空烤箱，芯片HMDS烘箱用途：
HMDS預處理系統通過(guò)對烘箱預處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
在半導體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個(gè)工藝環(huán)節，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì )侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著(zhù)偶聯(lián)劑的作用。
HMDS預處理系統，HMDS烘箱，HMDS真空烤箱適用行業(yè)：
適用于LED芯片、硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。
HMDS預處理系統，HMDS烘箱，HMDS真空烤箱技術(shù)參數
工作室尺寸 | 350×350×350、450×450×450、850×850×850（mm）可自定義 |
材質(zhì) | 外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑或304不銹鋼，內箱采用316L醫用級不銹鋼 |
溫度范圍 | RT+10-250℃ |
真空度 | ≤133pa（1torr） |
潔凈度 | class 100，設備采用無(wú)塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境 |
控制儀表 | 人機界面 |
擱板層數 | 2層 |
HMDS控制 | 可控制HMDS藥夜添加量 |
真空泵 | 旋片式油泵（可選配進(jìn)口無(wú)油泵） |
保護裝置 | HMDS低液位報警，HMDS自動(dòng)添加，超溫保護，漏電保護，過(guò)熱保護等 |
