后曝光氮氣烘箱,PEB無(wú)塵烘箱所使用的高溫(100-130°C)會(huì )使光敏化合物擴散,從而消除駐波波紋.百級潔凈度無(wú)塵化,專(zhuān)用于半導體,集成電路。
高溫百級無(wú)氧烘箱,500度厭氧潔凈烤箱用于PI、BCB 膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、無(wú)塵烘干的特殊工藝要求。
不銹鋼無(wú)塵烤箱,雙層無(wú)塵烘箱應用于目前關(guān)鍵的半導體電子行業(yè)(如硅片干燥,堅膜烘烤,裝片機后道烘烤,塑封后烘烤,治具烘烤等),另外,雙層無(wú)塵烘箱還在LED制造行業(yè)中用于烘烤玻璃基板、無(wú)機材料行業(yè)中用于材料高精度工序。
百級無(wú)塵烘箱,不銹鋼無(wú)塵烤箱用于IC生產(chǎn)中前烘、后烘烤、堅膜、裝片機后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。