清潔烤箱，無(wú)塵烤箱用于IC生產(chǎn)過(guò)程中極為重要的光刻工藝中預烘烤（軟烘），脫水烘烤，涂膠后的堅膜烘烤（硬烘）；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、OLED、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。
清潔烤箱，無(wú)塵烤箱簡(jiǎn)述
無(wú)塵烤箱用于IC生產(chǎn)過(guò)程中極為重要的光刻工藝中預烘烤（軟烘），脫水烘烤，涂膠后的堅膜烘烤（硬烘）；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、OLED、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。
無(wú)塵烤箱原理
無(wú)塵烤箱配備HEPA過(guò)濾器，以保持爐腔無(wú)顆粒。 HEPA過(guò)濾器（高效微粒捕獲）現在是電子和平板顯示器潔凈室組裝的主要過(guò)濾系統，或任何需要減少或去除亞微米微粒的應用。 HEPA過(guò)濾器具有隨機定位的微玻璃纖維的深床，其中與平均纖維直徑和自由路徑橫截面的有效孔相比，總床深度（過(guò)濾器的厚度）非常大。
通過(guò)HEPA過(guò)濾器的氣體必須流過(guò)的通道不是直的，而是非常曲折的。隨著(zhù)顆粒對纖維的影響并粘附在纖維上，通道變得更小并且過(guò)濾器的效率提高。無(wú)塵烤箱以及LCD行業(yè)的特殊輸送爐中使用這些過(guò)濾器。為了保護過(guò)濾器不會(huì )在烤箱中過(guò)熱，實(shí)施了用于過(guò)濾器的特殊保護系統。 HEPA過(guò)濾器在正常條件下保持其在烤箱中的效率一至數年。 HEPA不需要任何清潔或維護來(lái)保持這種效率。無(wú)塵烤箱用于半導體行業(yè)。
清潔烤箱特點(diǎn)
1、用于烘烤非光敏聚酰亞胺（PI）的清潔烤箱，在干凈的環(huán)境中處理集成的HEPA過(guò)濾器。溫度高達350°C 溫度。 氧氣可以保持<20ppm?？删幊炭刂破?。內部尺寸可自定義。
2、可以提供與PC的數據耦合，這允許長(cháng)期數據存儲以及統計過(guò)程控制SPC，配方管理和過(guò)程可視化。
3、 強制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結構，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統，從而得到高精度溫度控制。
4、可實(shí)現智能化生產(chǎn)要求。SECS / GEM是用于設備到主機數據通信的半導體設備接口協(xié)議。在自動(dòng)化工廠(chǎng)中，接口可以啟動(dòng)和停止設備處理，收集測量數據，更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。
無(wú)塵烤箱，智能無(wú)塵烤箱基本參數
1、 溫度范圍：RT-200/450℃;
2、 溫度均勻度：±2℃;
3、 溫度波動(dòng)度：±0.5℃；
4、 溫控精度：±0.1℃;
5、 潔凈度：100/10級的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實(shí)現并保證箱內的溫度分布的均勻性與潔凈度。
