無(wú)氧烘箱，光刻膠固化烘箱應用于精密電子元件、PI膠固化烘烤、BCB固化，光刻膠固化、LCP液晶聚合物熱處理、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求
無(wú)氧烘箱，光刻膠固化烘箱應用工藝
無(wú)氧烤箱應用于精密電子元件、PI膠固化烘烤、BCB固化，光刻膠固化、LCP液晶聚合物熱處理、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線(xiàn)性升降溫環(huán)境，特別適合集成電路/半導體制造、COB封裝、醫療衛生、柔性線(xiàn)路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無(wú)氧化干燥烘烤工藝要求，廣泛應用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研等場(chǎng)所。
無(wú)氧烘箱，光刻膠固化烘箱特點(diǎn)
精度高，可調整；
溫度穩定性強，可重復性高；
大容量，可批量生產(chǎn)；
兼容性好，適用于2--12寸晶圓；
智能化，操作方便，一鍵運行，無(wú)需人工值守；
快速降溫，具有輔助降溫裝置，提高生產(chǎn)效率；
無(wú)氧烘箱性能：
溫度范圍：RT+50～450℃；
內箱尺寸：多尺寸定制；
材質(zhì)：SUS304/316不銹鋼；
氧含量：≤ 20ppm;
數據輸出：溫度記錄/氧濃度記錄
保護功能：短路保護、漏電保護、超溫保護、電機過(guò)電流保護、電磁門(mén)禁保護
可選功能：
潔凈度：class100
真空度：10pa
自動(dòng)上下料：機械手
工業(yè)自動(dòng)化：MES/GEM
無(wú)氧烘箱使用環(huán)境
環(huán)境溫、濕度5℃～＋35℃，相對濕度：≤85%；
周?chē)鸁o(wú)強烈震動(dòng)；
無(wú)陽(yáng)光直接照射或其它熱源直接輻射，
周?chē)鸁o(wú)強烈電磁場(chǎng)影響；
周?chē)鸁o(wú)高濃度粉塵及腐蝕性物質(zhì)；
