OAP烘箱，OAP處理烘箱處理主要是為了改善親水性表面，變?yōu)槭杷?，從而達到增加光刻膠粘附性的作用。
OAP烘箱，OAP處理烘箱的工藝
光刻的作用是把掩模版上的各形轉換成晶圓十的器件結構，它對集成電路圖形結構的形成，如各層薄膜的各形及摻雜區域等，均起著(zhù)決定性的作用。光刻的基本流程中第一步，前處理就是需要將基片親水性改為疏水性，即OAP(HMDS預處理)工藝。
OAP烘箱，OAP處理烘箱簡(jiǎn)介
OAP處理烘箱，也稱(chēng)為HMDS烘箱、HMDS預處理系統。用HMDS溶液:六甲基二硅胺烷)成底膜進(jìn)行表面處理，它起到提高粘附力的作用，在硅片成底膜操作后盡快涂膠。OAP烘箱是采用氣相成底膜的方式來(lái)完成HMDS的涂覆工藝，優(yōu)點(diǎn)是，整個(gè)工藝在密閉的環(huán)境中，外界沒(méi)有與硅片接觸減少了來(lái)自液體HMDS顆粒沾污的可能，HMDS的消耗量也小。
OAP烘箱指標
HMDS藥液泄漏報警提示功能
HMDS低液位報警提示功能
工藝數據記錄功能
HMDS管道預熱功能
程序鎖定保護等功能
尺寸（深*寬*高）
內腔尺寸：450×450×450（mm）（可定制）
材質(zhì)：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內箱采用 316L 醫用級不銹鋼
溫度范圍：RT+50-200℃
溫度波動(dòng)度：≤±0.5
真空度：≤1torr
HMDS控制：可控制HMDS 藥液添加量
真空泵：無(wú)油渦旋真空泵
