大型HMDS真空烘箱，4門(mén)HMDS真空烤箱 是半導體光刻工藝中的關(guān)鍵設備，主要用于基片表面預處理，通過(guò)六甲基二硅氮烷（HMDS）涂布增強光刻膠與基片的黏附性。

硅烷沉積設備 抗粘劑蒸鍍系統 納米抗粘設備通過(guò)表面修飾的模板,可以大大降低模板與壓印聚合物層之間的相互作用力,在納米壓印過(guò)程中實(shí)現結構較好的轉移,復制.

抗黏劑蒸鍍機 抗粘劑涂膠機 硅烷氣相鍍膜機通過(guò)精確控制烘箱溫度（100-200℃）、處理時(shí)長(cháng)及保持時(shí)間等參數，使氮烷（HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷、PFTS三氯硅烷）沉積在襯底表面，生成疏水性的保護層，，將親水基片轉化為疏水性。該過(guò)程有效增大處理后的基片接觸角，減少光刻膠使用量約30%，同時(shí)提升膠層與基片的黏附強度?。

抗粘劑蒸鍍機 硅烷鍍膜機 氣相沉積系統 硅烷偶聯(lián)劑（HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷、PFTS三濾硅烷等）作為一類(lèi)重要的有機硅化合物，在材料表面改性、復合材料增強、涂層制備等眾多領(lǐng)域有著(zhù)廣泛應用。

智能型HMDS涂膠機，自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機也稱(chēng)為HMDS處理，是用于使晶片表面呈疏水性的處理。

HMDS涂膠機，智能型HMDS涂 膠機將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著(zhù)偶聯(lián)劑的作用。

光刻工藝HMDS鍍膜機，MOS器件HMDS鍍膜 機涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關(guān)鍵步驟。