HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預處理烘箱保護裝置：緊急停止，HMDS藥液泄漏報&警提示，HMDS低液位報&警，超溫保護，漏電保護，過(guò)熱保護等
光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱應用多晶硅，石英，太陽(yáng)能電池片、金屬、貴金屬、藍寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導體材料。
HMDS烘箱專(zhuān)用真空泵，HMDS系統無(wú)油泵較小的噪音 - 一臺干泵卻擁有較好的真空度，較大的抽速 - 停機時(shí)間短，維護成本更低
光伏電池片HMDS處理系統，HMDS預處理烘箱就是涂膠前要進(jìn)行增粘處理。由于襯底表面吸水特性，使疏水的光刻膠無(wú)法與親水的晶圓表面結合良好。未經(jīng)過(guò)HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。
HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無(wú)油泵真空干泵具有靜音(50dBA)和低振動(dòng)運行的， 密封設計(真空區與電機和軸承全隔開(kāi)) 可提供潔凈的泵內氣體環(huán)路;從而消除了油或油脂帶來(lái)的污染風(fēng)險。
HMDS專(zhuān)用烘箱，HMDS真空涂膠系統適用行業(yè)：MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導體材料。
