可程式HMDS真空 烘箱 HMDS真 空烘箱

可程式HMDS真空 烘箱  HMDS真 空烘箱用途

用于光刻膠粘合的 HMDS 氣相沉積

晶圓基底脫水烘烤

用于半導體激光器芯片金屬剝離處理的光刻膠圖像反轉

HMDS真空烘箱特點(diǎn)

我們的控制系統支持用戶(hù)根據需要選擇溫度、處理時(shí)長(cháng)及腔室尺寸。具有卓&越的 HMDS 鍵合和均勻性性能可實(shí)現高產(chǎn)量。

此外，我們的技術(shù)還能降低化學(xué)物品的使用量和成本，大批量產(chǎn)能和接近零的化學(xué)廢物排放，實(shí)現經(jīng)濟效益。

通過(guò)工藝處理，達到圖像反轉效果，解決了圖像反轉光刻膠的復雜性。>99% 的正常運行時(shí)間和可靠性，具有經(jīng)過(guò)客戶(hù)驗證的卓&越一致性和可重復性

可程式HMDS真空 烘箱  HMDS真 空烘箱性能

設備型號：JS-HMDS90AI                           

工作室尺寸（mm）： 300*300*300，450×450×450，650*650*650,1000*1000*1000可定制
材質(zhì)：內箱采用316L醫用級不銹鋼
溫度范圍：RT+10-200℃ 
溫度波動(dòng)度：≤±0.5
真空度：1torr
操作界面：人機對話(huà)，一鍵式作業(yè)
分層數量：1-8層
HMDS控制:可控制HMDS藥夜添加
真空泵：無(wú)油渦旋干泵
保護系統:HMDS藥液泄漏報警提示，超溫保護，漏電保護，過(guò)熱保護

可程式HMDS真空烘箱  HMDS真空烘箱  高溫HMDS真空烘箱應用于半導體工藝生產(chǎn)、科研機構、研發(fā)平臺、高校實(shí)驗室等，及新材料、新技術(shù)行業(yè)。

   上海雋思儀器專(zhuān)注于半導體設備， 硅烷氣相沉積設備、精密熱板、HMDS預處理系統、HMDS真空烘箱、無(wú)塵烘箱、潔凈烘箱，氮氣烘箱、無(wú)氧烘箱、無(wú)塵無(wú)氧烘箱、真空烘箱、真空無(wú)氧烘箱、干燥烘箱、真空儲存柜、環(huán)境可靠性設備、超低溫試驗箱、高精度烤膠機等設備，同時(shí)可根據客戶(hù)要求設計非標類(lèi) 適用的產(chǎn)品。