百級無(wú)塵烤箱，100級潔凈烤箱適用于IC可靠性試驗，IC封裝，光刻膠固化，電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
HMDS預處理系統產(chǎn)生的HMDS尾氣處理設備，HMDS廢氣凈化系統將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著(zhù)偶聯(lián)劑的作用。從而產(chǎn)生的尾氣需要凈化處理后才可排放在大氣中。
工業(yè)烤箱，半導體干燥烘箱工作室內溫度由溫控儀自動(dòng)控制，并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置，并附設有超溫自動(dòng)停電及蜂鳴電路，控制可靠，使用安全。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。
堅膜無(wú)塵烤箱，半導體無(wú)塵烘箱?用于高精度硅上薄膜電阻制造過(guò)程中堅膜工藝。也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
氮氣烤箱，充氮潔凈烤箱用于IC封裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板、高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).
非標無(wú)塵無(wú)氧烘箱，黃光區潔凈烤箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).
