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半導體烤箱,wafer烤箱 電子行業(yè)專(zhuān)用儀器

半導體烤箱,wafer烤箱 電子行業(yè)專(zhuān)用儀器

簡(jiǎn)要描述:

半導體烤箱,wafer烤箱于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預處理烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

半導體烤箱,wafer烤箱用途:
  半導體烤箱,wafer烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預處理烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

特點(diǎn):
1.烤箱具有升溫快,溫度過(guò)沖小,節能等優(yōu)點(diǎn);
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.采用環(huán)抱式熱風(fēng)循環(huán)系統,風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節能溫度均勻性好;
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結構,溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到精密溫度控制精度。

產(chǎn)品技術(shù)參數:  

 溫度范圍:RT+10~250℃;
 溫度均勻度:±2℃;    

 溫度波動(dòng)度:±0.5℃        
 溫控精度:±0.1℃;        

 工作室尺寸:W600×D550×H600(mm)         
 電源:220v , 50Hz,3.0KW    

 網(wǎng)板:2塊(高度可調節)

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