非標無(wú)塵無(wú)氧烘箱，無(wú)氧干燥箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).
非標無(wú)塵無(wú)氧烘箱，無(wú)氧干燥箱概述
非標無(wú)塵無(wú)氧烘箱，無(wú)氧干燥箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).
技術(shù)參數
主要技術(shù)指標
Ø 材質(zhì)：外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼，內箱采用SUS304不銹鋼
Ø 溫度范圍：RT+10-200℃，使用溫度≤150℃
Ø 溫度分辨率：0.1℃
Ø 溫度波動(dòng)度：＜±1℃
Ø 溫度均勻度：≤±2%
Ø 潔凈度：class 100，設備采用無(wú)塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境
Ø 升溫時(shí)間：5-8℃/min，（空箱測試）
Ø 降溫時(shí)間：可滿(mǎn)足130℃-50℃，降溫5℃/min（空箱測試）
Ø 氧含量
(配氧含量分析儀)高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量
Ø 數據輸出：溫度和氧含量無(wú)紙記錄儀
系統結構
Ø 熱風(fēng)循環(huán)系統：采用進(jìn)口覆套式電熱器（SHEATHED HEATER）無(wú)塵無(wú)氧化電熱發(fā)生器
箱體后部裝有離心循環(huán)風(fēng)機、氮氣進(jìn)氣口和排氣口，離心風(fēng)機將箱內加熱的熱風(fēng)與進(jìn)氣口的新鮮氮氣混合，一部分氣體混合烘干處理產(chǎn)生的廢氣物從排氣口排出，大部分氣體進(jìn)入箱體兩側的循環(huán)風(fēng)道，攜帶加熱器產(chǎn)生的熱量，進(jìn)入箱體內對產(chǎn)品進(jìn)行加熱烘烤，然后由離心風(fēng)機重新吸回，從而往返循環(huán)
Ø 氣體系統：愛(ài)美克H.E.P.A，(特殊風(fēng)道設計)過(guò)濾效果可達99.99%,Class100
箱體內裝有氧含量分析儀，全稱(chēng)檢測氧含量，并記錄數據排氣口采用自動(dòng)風(fēng)門(mén)設計以達到強烈的循環(huán)效果及快速降溫，進(jìn)氣口加附N2流量計控制進(jìn)氣量，入氣口10mm氧含量可達到40PPM以下
