半導體百級潔凈烘箱，芯片百級烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
半導體百級潔凈烘箱，芯片百級烤箱概述
半導體百級潔凈烘箱，芯片百級烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
特點(diǎn)
Ø 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
Ø 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
Ø 采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100；
參數
Ø 進(jìn)風(fēng)口：φ6mmN2進(jìn)氣、流量計控制;
Ø 排風(fēng)口： φ3”排風(fēng)管（外接φ5＂法蘭）;
Ø 電源：480v , 50Hz，15KW ，電源供應器為UL/FM/CE或3C認證，并有過(guò)
Ø 電流保護裝置；
Ø 網(wǎng)板：5層，2mmt不銹鋼版加工四周內向折成10mm的圓孔承托盤(pán) , 單層
Ø 層載重量可需承重50kg；
Ø 潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實(shí)
Ø 現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。
溫度控制器
Ø 彩色觸摸屏控制器TEMI360
a) 控制器：彩色觸摸屏；
b) 顯示器：3.5英寸TFT彩色LCD顯示器；
c) 輸出方式：PID控制輸出；
d) 運行方式：程序方式、定值方式；
e) 設定方式：中/英文菜單，觸摸屏方式輸入；
