晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱晶圓退火需進(jìn)行升溫處理，升溫處理具有多個(gè)升溫階段,每個(gè)升溫階段相應的升溫速率不同,其中,所述多個(gè)區域在每個(gè)所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個(gè)區域進(jìn)行保溫處理;對多個(gè)區域采用氮氣保護，該氮氣烘箱采用輔助降溫方式進(jìn)行降溫處理。
晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱：
晶圓退火需進(jìn)行升溫處理，升溫處理具有多個(gè)升溫階段,每個(gè)升溫階段相應的升溫速率不同,其中,所述多個(gè)區域在每個(gè)所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個(gè)區域進(jìn)行保溫處理;對多個(gè)區域采用氮氣保護，該氮氣烘箱采用輔助降溫方式進(jìn)行降溫處理。
晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱技術(shù)性能：
1 工作室尺寸 W450mm×450mm×H450mm （90L），可定制
2 材質(zhì) 內箱采用耐高溫SUS304不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑
3 溫度范圍 RT+50-550℃
4 控溫精度 +1
5 溫度波動(dòng)度 ≤±1℃
6 溫度均勻度 ≤1.5%
7 潔凈度class100/class1000/無(wú)要求
8電源及總功率 AC 380V±10%/50HZ
9 升溫速度 1-10℃/min可調
10降溫方式 風(fēng)冷降溫/水冷
11氧含量 氧含量≤50ppm
12 數據輸出 氧含量分析儀，溫度記錄儀
13操作方式 彩色觸摸屏控制，可程式/定制運行
14 樣品架 2層不銹鋼沖孔托盤(pán)
500度退火氮氣烘箱安全保護：
三色報警燈
超溫報警
短路保護
漏電保護
超溫保護，獨立感溫式超溫保護器
電機保護
電子鎖自動(dòng)鎖緊，防止高溫開(kāi)門(mén)
