抗粘劑涂膠機，抗粘 劑真空預處理系統

抗粘劑涂膠機，抗粘 劑真空預處理系統重要性

  在納米壓印工藝中為防止在退模過(guò)程中模板與壓印膠相互粘連破壞結構，我們需要給模板制備抗粘層，制備抗粘層的方法以及模板的結構也會(huì )影響到終的抗粘效果。當模板結構在100nm以下時(shí)，在液相中制備的抗粘層就不能*起到抗粘的作用。這是因為在模板的角落中會(huì )滯留一部分空氣而導致抗粘材料無(wú)法到達這些位置然而，若采用氣相的方法則不存在這樣的問(wèn)題。

抗粘劑涂膠機，抗粘 劑真空預處理系統參數

工作室尺寸 350×350×350，450*450*450（mm），可定制

材質(zhì) 外箱優(yōu)質(zhì)SUS#304不銹鋼，內腔采用316L醫用不銹鋼

溫度范圍  可調節

溫度分辨率 0.1℃

溫度波動(dòng)度 ≤±0.5

潔凈度 設備采用無(wú)塵材料，適用100光刻間凈化環(huán)境

電源及總功率 AC 220V±10% / 50HZ     總功率約3.5KW  

控制儀表 人機界面+PLC

擱板層數 1-4層

抗粘劑添加量可調

真空泵 無(wú)油泵

抗粘劑涂膠機，抗粘劑真空預處理使用條件

環(huán)境溫、濕度5℃～＋35℃，相對濕度：≤85%；

周?chē)鸁o(wú)強烈震動(dòng)；  

周?chē)鸁o(wú)高濃度粉塵及腐蝕性物質(zhì)；

周?chē)鸁o(wú)強烈電磁場(chǎng)影響；

設備應放在堅固平穩的平面上，并使其保持水平狀態(tài)；

不小于0.3MPa高純氮氣；

安裝設備使用空開(kāi)電源 ；

有機尾氣排放管道。