半導體充氮烘箱，氮氣烤膠烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤
半導體充氮烘箱，氮氣烤膠烘箱
精密烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
半導體充氮烘箱，氮氣烤膠烘箱
2.1溫度范圍： RT+10～250℃；
2.2溫度均勻度：≤±1.5%℃；
2.3升溫速度：0-5℃/min；
2.4潔凈度：無(wú)發(fā)塵材料，可達使用環(huán)境潔凈等級；
2.5工作尺寸：D450×W450×H450mm，D500×W600×H750mm；多尺寸定制
2.6電源：AC220V/50HZ, 4.0KW ；
2.7 計時(shí)功能：具有獨立的計時(shí)器，計時(shí)復位開(kāi)關(guān)，計時(shí)報警器；
2.8 進(jìn)氣口：φ6mmN2進(jìn)氣、流量計控制0-250ML可調；
2.9 安全保護功能：超溫保護，電機過(guò)熱保護，過(guò)流保護，電磁門(mén)鎖（防止高溫開(kāi)門(mén)），三色燈指示。
氮氣烤膠烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。烘箱內部整機為不銹鋼結構，全部采用無(wú)塵材料，箱內持續充氮，使烘箱工作室內處于潔凈狀態(tài)。工作室內溫度由溫控儀自動(dòng)控制，并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置，并附設有超溫自動(dòng)停電及報警電路，控制可靠，使用安全。
