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小型烘膠臺定制,恒溫烤膠臺說(shuō)明

小型烘膠臺定制,恒溫烤膠臺說(shuō)明

簡(jiǎn)要描述:

小型烘膠臺定制,恒溫烤膠臺說(shuō)明對一些溫度敏感材料(如晶體、半導體、陶瓷等)進(jìn)行加熱和裝卡尤為適用。設備結構簡(jiǎn)單,操作簡(jiǎn)便,安全可靠,是從事半導體熱處理、材料研究生產(chǎn)、溫度干燥試驗等。

小型烘膠臺定制,恒溫烤膠臺說(shuō)明

   恒溫烤膠臺可在光刻工藝中的涂膠后的軟烘,暴光后烘,顯影后的堅膜,磨片粘片熔臘等,它采用整體鑄造,加熱板作為加熱體,增強了設備的安全性。又名烘膠臺,烤膠臺,加熱平臺,烤膠板,熱臺,熱板等。

   烘膠臺對一些溫度敏感材料(如晶體、半導體、陶瓷等)進(jìn)行加熱和裝卡尤為適用。設備結構簡(jiǎn)單,操作簡(jiǎn)便,安全可靠,是從事半導體熱處理、材料研究生產(chǎn)、溫度干燥試驗等。

小型烘膠臺定制,恒溫烤膠臺說(shuō)明

程序控制器運作,可選擇加熱,冷卻和停止階段,可以進(jìn)行編程;

利用微電腦處理,實(shí)現加熱程序編輯和控制;

程序記憶功能;

可長(cháng)時(shí)間連續工作;

加熱面積大,加熱均勻型好,升溫快;
特殊防腐材料,耐腐蝕,使用壽命長(cháng);

加熱面積尺寸:160mm*160mm、220mm*220mm多尺寸定制

溫度分辨率 :0.1℃   

溫度波動(dòng)度:≤±0.5℃        

溫度均勻性:≤±0.5/1、1%℃

電源輸入:AC220V 10A         

加熱功率:1500W

控溫范圍:室溫--200、300/400/500/600℃  


可選配

真空腔體;

加裝PIN柱;

觸摸屏控制;

氮氣氣氛等。



一.概述:

    可程式勻膠機適于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉速穩定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。

二.特點(diǎn)

1.結構緊湊,適合直接放于手套箱內操作;

2.7寸全彩觸摸屏,高級PLC控制,設置一鍵啟動(dòng)按鈕, 操作方便;

3.可單步和多步勻膠操作;

4.工業(yè)級馬達,旋轉平穩,運行穩定;

5.溶劑PC透明蓋;

6.真空泵與勻膠機同步工作,勻膠機旋轉,真空泵就啟動(dòng),勻膠機停止,真空泵就停止;

7.設置有開(kāi)機密碼功能,提高設備操作安全性;

8.左上面配有載物槽,(φ28深16)放藥水瓶方便。

三.技術(shù)參數

1.外形尺寸:335mm(D)x228mm(W)x215mm(H)

2.標配三種真空吸盤(pán)(φ10mm,φ25mm,φ45mm)

   φ10mm吸盤(pán)(可載基片最小φ10mm   最大φ25mm)

   φ25mm吸盤(pán)(可載基片最小φ25mm   最大φ47mm)

   Φ45mm吸盤(pán)(可載基片最小φ47mm   最大φ55mm)

3.速度可調范圍:300-10000rpm

4.減速可調范圍:1000-3000RPM/S

5.轉速分辨率:1RPM

6.旋轉時(shí)間范圍:1-3000S

7.加速可控范圍:300-5000RPM/S

8.可編程5組5步程序

9.真空輸入:0.06-0.09Mpa,真空流量最小15L/Min

10.真空接口:設備后面板出口外徑6mm

11.電源輸入: 220V  150W


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