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晶圓潔凈烘箱,不銹鋼百級烤箱定制

晶圓潔凈烘箱,不銹鋼百級烤箱定制

簡(jiǎn)要描述:

晶圓潔凈烘箱,不銹鋼百級烤箱定制安全裝置漏電斷路器、控制線(xiàn)路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過(guò)電流保護裝置、馬達過(guò)電流保護、 反向保護裝置、內襯防火材料、機臺異常蜂鳴器警示、門(mén)面安全開(kāi)關(guān)。

晶圓潔凈烘箱,不銹鋼百級烤箱定制技術(shù)指標


無(wú)塵等級:Class 100;     

溫度范圍:RT+10250、450℃;
 溫度均勻度:≤±1.5%;    

溫度波動(dòng)度:±0.5℃;        
 溫控精度:±0.1℃;


工作尺寸:自定義;      



高效空氣過(guò)濾器(HEPA)

特點(diǎn):效率高、阻力低、容塵量大;

外框材質(zhì):不銹鋼;

濾料:超細玻璃纖維濾紙;

隔板:鋁箔;

過(guò)濾效率:≥99.99%;

   顯示直觀(guān),操作簡(jiǎn)單



晶圓潔凈烘箱,不銹鋼百級烤箱定制的操作:




1、4.3吋彩色觸摸屏;

2、兩種控制方式:定值/程式;

3、傳感器類(lèi)型:PT100;

4、報警信號:16條報警輸入(DI),可編輯名稱(chēng);

5、溫度測量范圍:-20.00℃-400.00℃(可定制)誤差±0.3℃;

6、界面語(yǔ)言類(lèi)型:中文/英文;

7、通訊接口:(RS232/RS485,通訊最長(cháng)距離1.2km[光纖可達30km]),可連接打印機打印溫濕度曲線(xiàn)監控數據;

8、程式編輯:可編120組程式,每組程式最大為100段;


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