小型蒸發(fā)鍍膜儀，實(shí)驗室氣相沉積設備 用于真空蒸發(fā)鍍光學(xué)薄膜、有機物薄膜和金屬薄膜、在襯底上沉積各單層金屬 膜，主要用于蒸鍍電極及有機半導體材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗研究 。特別適合于高科技企業(yè)、科研單位和高校用于膜層研究和膜系開(kāi)發(fā)。
小型蒸發(fā)鍍膜儀，實(shí)驗室氣相沉積設備用途
用于真空蒸發(fā)鍍光學(xué)薄膜、有機物薄膜和金屬薄膜、在襯底上沉積各單層金屬 膜，主要用于蒸鍍電極及有機半導體材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗研究 。特別適合于高科技企業(yè)、科研單位和高校用于膜層研究和膜系開(kāi)發(fā)。
小型蒸發(fā)鍍膜儀，實(shí)驗室氣相沉積設備主要技術(shù)參數
真空腔室尺寸：Φ300*H400mm,預留膜厚儀接口304不銹鋼材料，圓柱式，門(mén)上配有觀(guān)察窗；
真空系統： 分子泵 +直聯(lián)旋片泵+高真閥門(mén)； “一低一高"數顯復合真空計；
極限真空： 真空極限優(yōu)于 5×10-5Pa ；
溫度范圍： RT-600/1600℃，可調可控；
基片臺尺寸：最大可鍍基片尺寸/面積：Φ100mm 范圍內可裝卡各種規格配 套相應樣品架可固定各類(lèi)不銹鋼掩膜板。
基片臺旋轉:0-20 轉/分鐘，可調可控；
蒸發(fā)源及電源：水冷蒸發(fā)電極，金屬蒸發(fā)電源；
控制方式：PLC+觸摸屏,自動(dòng)控制；
報警及保護：對泵、電極等缺水、過(guò)流過(guò)壓、斷路等異常情況進(jìn)行報警并執行相應保護措施；完善的邏輯程序互鎖保護系統；
設備配電： AC220V/50HZ ,功率：3.5KW；
設備尺寸：長(cháng)×寬×高:500*360*420mm；
