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真空無(wú)氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)

真空無(wú)氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)

簡(jiǎn)要描述:

真空無(wú)氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無(wú)氧烘箱中,通入N2→真空置換后,采用多級升溫保溫的方式,在規定的時(shí)間從室溫升至第一溫度階段,并在該溫度段保溫1-2h,再在規定的時(shí)間從第一溫度升至第二溫度階段,并在該溫度段保溫一定的時(shí)間;隨后增通過(guò)輔助的降溫系統(水冷和風(fēng)冷),將退火爐的溫度降至80度左右,完成固化。

真空無(wú)氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱由真空泵、真空組件、真空測量等組成;數顯真空控制器,顯示腔內相對壓強并可根據工藝要求控制壓力值。

真空無(wú)氧烤箱是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無(wú)氧烘箱中,通入N2→真空置換后,采用多級升溫保溫的方式,在規定的時(shí)間從室溫升至第一溫度階段,并在該溫度段保溫1-2h,再在規定的時(shí)間從第一溫度升至第二溫度階段,并在該溫度段保溫一定的時(shí)間;隨后增通過(guò)輔助的降溫系統(水冷和風(fēng)冷),將退火爐的溫度降至80度左右,完成固化。

溫度范圍: 120~ 400/500℃;
溫度波動(dòng)度:≤±1

升溫速度:0-10℃/min;
降溫方式:水冷降溫

氮氣控制:電磁閥+可調試流量計控制
氧含量檢測:氧濃度檢測儀,氧含量可達20ppm

工作腔尺寸(mm):

W350×H350×D350

W500×H500×D600

W600×H600×D600

可定制

真空無(wú)氧化烤箱(BCB厭氧固化烤烘箱)溫控系統:
操作界面:人機界面+PLC,可一鍵運行,多個(gè)工藝編輯;
溫度測量:K型熱偶;

控制儀表:高精度溫度控制器,PID調節,控制精度0.1℃,可程式觸摸屏控制器可選擇;
超溫保護儀表:獨立于工作室主控制的超溫保護系統,保證試驗品的安全;
控制系統:主要電器件均采用施耐德、正泰等品牌元氣件;


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