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潔凈無(wú)氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱

潔凈無(wú)氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱

簡(jiǎn)要描述:

潔凈無(wú)氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱應用場(chǎng)景
半導體行業(yè)?:晶圓脫泡、LCP纖維烘烤、光刻膠固化(如PI/BCB/PBO涂層)/晶圓退火、電子元器件制造(前烘、堅膜、墨點(diǎn)烘烤、備件烘烤等),減少微塵污染90%
?新能源領(lǐng)域?、醫療與科研?


?潔凈無(wú)氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱核心參數與技術(shù)特性?

?溫度范圍?:RT+20~200/400℃,控溫精度±0.5℃,支持快速升溫(>6℃/min)?

?潔凈等級?:Class 10~100級(百級潔凈度過(guò)濾效率達99.99%),內腔采用304、316L不銹鋼材質(zhì),密封防塵設計?

?氮氣保護?:充氮純度≥99.999%,氧含量可低至10ppm以下,氮氣壓力調節范圍0.01~0.60MPa?

?定制化配置?:支持雙箱獨立控制、可視化窗口(可選)、不銹鋼網(wǎng)板分層(可活動(dòng)抽?。?

?二、產(chǎn)品結構與功能設計?

?箱體構造?

外箱:防塵烤漆處理(冷軋鋼板),或304、316L不銹鋼材質(zhì),耐高溫密封條?

保溫層:高密度陶瓷纖維,熱能損耗降低30%?

?加熱與控溫系統?

加熱方式:覆套式無(wú)塵電熱器,均勻加熱,支持觸摸屏程序控溫?

循環(huán)風(fēng)道:水平送風(fēng)+HEPA高效過(guò)濾,快速降溫排氣口自動(dòng)風(fēng)門(mén)設計?

?智能控制?:支持MES等自動(dòng)化通信端口,

      內置計時(shí)報警功能,

      氧含量實(shí)時(shí)監測(氧化鋯分析儀)?

潔凈無(wú)氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱應用場(chǎng)景與解決方案?

?半導體行業(yè)?:晶圓脫泡、LCP纖維烘烤、光刻膠固化(如PI/BCB/PBO涂層)/晶圓退火、電子元器件制造(前烘、堅膜、墨點(diǎn)烘烤、備件烘烤等),減少微塵污染90%

?新能源領(lǐng)域?:鋰電池材料高溫干燥,氮氣防氧化保護?、新能源材料企業(yè)

?醫療與科研?:生物醫藥實(shí)驗室,無(wú)菌實(shí)驗設備干燥、無(wú)氧環(huán)境樣品處理(符合ISO9001標準)?

?四、服務(wù)與保障?

?售后支持?:提供設備調試、技術(shù)培訓,終身維護

?質(zhì)量認證?:執行CE、ISO9001/SEMI S2等標準

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