無(wú)塵烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
銀膠固化烘箱,銀膠燒結烤箱燒結的目的是使銀膠固化,燒結要求對溫度進(jìn)行監控,防止批次性不良。銀膠燒結的溫度一般控制在150℃,燒結時(shí)間2小時(shí)。根據實(shí)際情況可以調整到170℃,1小時(shí)。銀膠燒結烘箱的必須按工藝要求隔2小時(shí)(或1小時(shí))打開(kāi)更換燒結的產(chǎn)品,中間不得隨意打開(kāi)。燒結烘箱不得再其他用途,防止污染。
精密循環(huán)風(fēng)烤箱,精密高溫烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。 也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其它高溫試驗。
充氮LED烤箱,LED潔凈烘箱廣泛用于點(diǎn)陣,數碼管,LED發(fā)光二極管,SMD,大功率,貼片等固化;*的性質(zhì)配置單門(mén)或多門(mén),使用上更節能,更人性化。
HMDS烘箱、HMDS預處理系統降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。
潔凈烘箱,氮氣潔凈烤箱,充氮烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構,全部采用無(wú)塵材料,箱內持續充氮,使烘箱工作室內處于潔凈狀態(tài)。