12寸HMDS真空烤箱，芯片HMDS烘箱過(guò)對烘箱預處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

Class 100潔凈烘箱，無(wú)塵高溫烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

光刻膠無(wú)塵烘箱，電子陶瓷固化烤箱主要應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料等無(wú)塵烘干的特殊工藝要求。

LED潔凈烘箱，LCD充氮烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構，全部采用無(wú)塵材料，箱內持續充氮，使烘箱工作室內處于潔凈狀態(tài)。工作室內溫度由溫控儀自動(dòng)控制，并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置，并附設有超溫自動(dòng)停電及報警電路，控制可靠，使用安全。

晶圓無(wú)氧化烘箱，藍寶石厭氧烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構，全部采用無(wú)塵材料，箱內持續充氮，使烘箱工作室內處于潔凈狀態(tài)。工作室內溫度由溫控儀自動(dòng)控制，并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置，并附設有超溫自動(dòng)停電及報警電路，控制可靠，使用安全。

固化烤箱，PI、BCB膠烘箱用于整個(gè)箱體結構分為：膛體組件、箱架組件和熱風(fēng)組件三個(gè)部分，膛體腔，內表面全鏡面設計，風(fēng)道由左、右、后導風(fēng)板與箱體內壁組合而成，膛體頂部有排風(fēng)管道。

智能型HMDS烘箱，全自動(dòng)HMDS光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì )侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。