無(wú)氧固化爐,高溫無(wú)氧化固化烤箱應用半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纖維熱處理。

雙腔無(wú)氧烤箱，兩箱無(wú)氧烘箱單腔內尺寸：W450×D450×H450，上下層兩個(gè)腔體，可定制其他尺寸，多腔體

鈮酸鋰無(wú)氧化烘箱用于半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于聚酰亞胺PI膠、CPI膠、BCB膠固化、低K電介質(zhì)固化，LCP材料熱處理、鍵合材料預處理，FOWLP扇出封裝，ITO膜/鋁/銅退火，PBO膠固化等特殊工藝。

PI無(wú)氧烘箱工藝流程用于半導體/電子/新材料/新能源等行業(yè)。BCB、PI、PBO膠固化，LCP新材料、鋰電池等產(chǎn)品熱處理。

精密干燥箱，高精度烘箱用于半導體，電子，實(shí)驗室，金屬，橡膠等行業(yè)。烘干，固化，老化等工藝?？裳由鞛檎婵蘸嫦?，無(wú)氧烘箱，潔凈烘箱，HMDS烘箱等。

PI烘箱，厭氧烘箱固相亞胺化常用于PI薄膜的制備即將PAA溶液澆鑄成膜后加熱進(jìn)行亞胺化溶液亞胺化是在PAA溶液中加入共沸溶劑加熱回流通過(guò)共沸溶劑的蒸出帶出反應過(guò)程中產(chǎn)生的水促進(jìn)反應進(jìn)一步進(jìn)行。

智能型無(wú)塵無(wú)氧烘箱，高溫無(wú)塵 無(wú)氧化烘箱又稱(chēng)為PI固化烘箱，厭氧烘箱，高溫無(wú)氧烘箱，用于PI、BCB膠高溫固化、LCP熱處理烘烤、光刻膠固化等電子，半導體、新材料行業(yè)。