智能型無(wú)塵無(wú)氧烘箱,高溫無(wú)塵 無(wú)氧化烘箱又稱(chēng)為PI固化烘箱,厭氧烘箱,高溫無(wú)氧烘箱,用于PI、BCB膠高溫固化、LCP熱處理烘烤、光刻膠固化等電子,半導體、新材料行業(yè)。
氮氣真空無(wú)氧烘箱,高溫無(wú)氧真空烘箱用于鍵合前鍵合材料的真空固化 、LCP膜熱處理,BCB/PI膠固化等工藝。 廣泛應用于半導體、電子產(chǎn)品、新材料、醫療衛生等行業(yè),適用于工廠(chǎng)、高等院校、科研等場(chǎng)所。
真空無(wú)氧烘箱,PI固化厭氧烤箱用于PI/BCB/LCP固化,半導體封裝等。 溫度范圍:RT+30~450℃; 溫度波動(dòng)度:±1℃; 溫控精度:0.1℃; 氧濃度:10ppm 真空度:100pa
LCP膜專(zhuān)用高溫無(wú)氧烘箱LCP薄膜需要進(jìn)行厚度組織重整及配套的熱處理優(yōu)化,才能滿(mǎn)足高頻高速服役環(huán)境下的性能要求.
濕敏薄膜專(zhuān)用高溫無(wú)氧烘箱將基底溶液聚酰胺酸懸涂在制備有犧牲層的載體硅片上,采用MEMS工藝制作濕度敏感單元,本文制作的濕度傳感器采用“三明治”結構,包括上電極、感濕層和下電極,上下電極均采用蒸鍍工藝,蒸鍍金作為電極;感濕膜為聚酰亞胺材料,采用旋涂的方法制備感濕層