無(wú)氧烘箱，無(wú)氧烤箱氧濃度儀應用于精密電子元件、PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線(xiàn)性升降溫環(huán)境，特別適合半導體制造、COB封裝、醫療衛生、柔性線(xiàn)路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無(wú)氧化干燥烘烤工藝要求，廣泛應用于電子產(chǎn)品、五金制品、醫療衛生、儀器儀表、工廠(chǎng)、高等院校、科研等行業(yè)。

無(wú)氧化恒溫熱板，氮氣保護加熱臺用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、硅片高溫退火，電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，形成高溫、低氧（無(wú)氧），特別適合半導體制造、玻璃退火、IC、石英玻璃、醫療衛生、柔性穿戴技術(shù)研發(fā)、精密模具退火等行業(yè)的無(wú)氧化干燥烘烤工藝要求。

智能型無(wú)塵無(wú)氧烘箱、厭氧潔凈烘箱應用于精密電子元件、PI、BCB 膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、無(wú)塵烘干的特殊工藝要求

晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱晶圓退火需進(jìn)行升溫處理，升溫處理具有多個(gè)升溫階段,每個(gè)升溫階段相應的升溫速率不同,其中,所述多個(gè)區域在每個(gè)所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個(gè)區域進(jìn)行保溫處理;對多個(gè)區域采用氮氣保護，該氮氣烘箱采用輔助降溫方式進(jìn)行降溫處理。

無(wú)氧烘箱，智能無(wú)氧雙層烘箱可選用條形碼上傳IT后，接收由IT比對下載制程數據或直接接收IT所下載制程數據方式，系統并自動(dòng)將制程寫(xiě)入溫控器，達到遠程制程下載，避免人員制程選擇操作錯誤問(wèn)題；

充氮烘箱，充氮潔凈烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導體封裝、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。

無(wú)氧烘箱，無(wú)氧化烘箱在半導體集成電路制造過(guò)程中，晶圓表面預處理、涂膠、曝光前后的烘焙即曝光后烘烤（Post Exposure Bake，PEB）、對準、顯影、顯影后烘焙等因素都會(huì )對光刻工藝效果帶來(lái)顯著(zhù)影響