Class 100潔凈烘箱,無(wú)塵高溫烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
固化烤箱,PI、BCB膠烘箱用于整個(gè)箱體結構分為:膛體組件、箱架組件和熱風(fēng)組件三個(gè)部分,膛體腔,內表面全鏡面設計,風(fēng)道由左、右、后導風(fēng)板與箱體內壁組合而成,膛體頂部有排風(fēng)管道。
可編程潔凈烘箱,程序無(wú)塵烘箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).
PI 無(wú)塵烤箱,BCB固化烤箱是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及國家相關(guān)標準研究制造,廣泛應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫藥實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)
BCB膠高溫固化烘箱、光刻膠固化烤箱主要應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求。應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).
無(wú)氧高溫烘箱,百級無(wú)氧烘箱主要應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求。應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).