PI膠、BCB膠高溫固化烤箱的選擇

PI膠、BCB膠高溫固化烤箱應滿(mǎn)足以下工藝要求：

常用PI/BCB樹(shù)脂的固化方法，具體步驟如下：

1:在半導體芯片表面涂覆一層粘附劑;

2:通過(guò)旋轉方式在半導體芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態(tài)PI/BCB樹(shù)脂，接著(zhù)將涂覆好BCB樹(shù)脂的半導體芯片放入固化爐中，并通入氮氣保護;

3:加熱固化爐，使涂覆BCB樹(shù)脂的半導體芯片達到一*溫度，穩定一段時(shí)間，使BCB樹(shù)脂中的溶劑分布均勻;

4:再將加熱固化爐升高到一第二溫度，穩定一段時(shí)間，使BCB樹(shù)脂中的溶劑充分揮發(fā);

5:再將加熱固化爐升高至一第三溫度，穩定一段時(shí)間，在半導體芯片表面形成低介電常數的樹(shù)脂薄膜;

6:將加熱固化爐的溫度降至一預定溫度，關(guān)氮氣，取出樣品，完成固化工藝。

PI膠、BCB膠高溫固化烤箱應具備的功能：

根據以上要求，固化烤箱必須是熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因為熱風(fēng)循環(huán)烘箱的溫度均勻性較好，均勻性較差的烤箱會(huì )導致膠水固化后產(chǎn)生起泡，支架襯底烘烤后翹曲不平等問(wèn)題，常用的固化溫度zui高為375度，因此，選購熱風(fēng)循環(huán)烘箱的時(shí)候要注意溫度范圍選擇?？鞠涞淖唢L(fēng)方式采用左右水平風(fēng)結構的烘箱，這種結構的烤箱受放置產(chǎn)品的數量影響較小。

PI膠、BCB膠高溫固化烤箱應具有加熱計時(shí)功能，因為工藝生產(chǎn)中對烘烤時(shí)間是有要求的，烘烤時(shí)間過(guò)短，膠水無(wú)法*固化，烘烤時(shí)間過(guò)久，膠水硬化，開(kāi)裂，脫膠等。另外，溫控器可實(shí)現斜率升溫，這樣的好處可以通過(guò)調整升溫速度來(lái)解決不同產(chǎn)品的膠水固化要求。

PI膠、BCB膠高溫固化烤箱應配有水冷功能，因為工藝生產(chǎn)中對降溫速率有要求的，降溫速率太慢會(huì )引起PI/BCB膠開(kāi)裂，脫膠等。另外，溫控器可實(shí)現斜率降溫，這樣的好處可以通過(guò)調整升溫速度來(lái)解決不同產(chǎn)品的膠水固化要求。

固化烤箱選購注意烤箱潔凈度的要求。熱風(fēng)循環(huán)烘箱一般采用不銹鋼內膽，選用內部滿(mǎn)焊產(chǎn)品，機臺震動(dòng)較小，在膠水固化工藝中，不會(huì )因為機臺震動(dòng)導致膠水或者產(chǎn)品產(chǎn)生震動(dòng)，表面不平。另外，封裝過(guò)程一般是在無(wú)塵車(chē)間環(huán)境中，烤箱自身不能產(chǎn)生灰塵，潔凈度要求較高的工藝或者車(chē)間中，采用class100級潔凈烘箱。