真空無(wú)氧烘箱，高溫無(wú)氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合材料預處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導體封裝、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。
全氟辛基三氯硅烷涂膠機，抗粘劑PFTS烘箱主要用于納米壓印光刻（NIL）應用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠；以及功率半導體,LED,MEMS,半導體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
冷熱沖擊測試機，冷熱循環(huán)氣流儀在短的時(shí)間內（約10秒）檢測樣品因高低溫冷熱沖擊（）-65℃～220℃）所引起的化學(xué)變化和物理傷害，減少測試與驗證時(shí)間，快速提高產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)效率。廣泛應用于通信、半導體、芯片、傳感器等領(lǐng)域。
快速熱處理退火爐，半導體RTP快速退火 爐可用于硅及其他化合物材料離子注入后的退火，硅化物形成，歐姆接觸制備以及快速氧化，快速氮化等方面。該設備具有很好的長(cháng)時(shí)間工作穩定性以及快速升降溫，慢速升降溫功能
不銹鋼無(wú)塵烤箱，雙層無(wú)塵烘箱應用于目前關(guān)鍵的半導體電子行業(yè)（如硅片干燥，堅膜烘烤，裝片機后道烘烤，塑封后烘烤，治具烘烤等），另外，雙層無(wú)塵烘箱還在LED制造行業(yè)中用于烘烤玻璃基板、無(wú)機材料行業(yè)中用于材料高精度工序。
