氮氣烘箱，四箱氮氣烤箱，不銹鋼充氮烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。
晶元烘箱，半 導體烘箱適用于IC,PCB板、晶圓，可控硅，半導體，電阻、電容、電工、電子產(chǎn)品、家用電器、汽摩配件、化工涂料、各種電子元器件及其他相關(guān)產(chǎn)品零部件在高溫、低溫環(huán)境下貯存、運輸、使用時(shí)的適應性試驗，考核其各項性能指標?？蓡为氉龈邷?、低溫；也可用于高溫、低溫的循環(huán)試驗。
半導體高低溫試驗箱，半 導體烘箱適用于IC,PCB板、晶圓，可控硅，半導體，電阻、電容、電工、電子產(chǎn)品、家用電器、汽摩配件、化工涂料、各種電子元器件及其他相關(guān)產(chǎn)品零部件在高溫、低溫環(huán)境下貯存、運輸、使用時(shí)的適應性試驗，考核其各項性能指標?？蓡为氉龈邷?、低溫；也可用于高溫、低溫的循環(huán)試驗。
微型高低溫箱，IC用高 低溫測試箱適用于IC,PCB板、晶圓，可控硅，半導體，電阻、電容、電工、電子產(chǎn)品、家用電器、汽摩配件、化工涂料、各種電子元器件及其他相關(guān)產(chǎn)品零部件在高溫、低溫環(huán)境下貯存、運輸、使用時(shí)的適應性試驗，考核其各項性能指標?？蓡为氉龈邷?、低溫；也可用于高溫、低溫的循環(huán)試驗。
HMDS預處理系統產(chǎn)生的HMDS尾氣處理設備，HMDS廢氣凈化系統將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著(zhù)偶聯(lián)劑的作用。從而產(chǎn)生的尾氣需要凈化處理后才可排放在大氣中。
氮氣烤箱，充氮潔凈烤箱用于IC封裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板、高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).
