前烘氮氣烘箱，硬烘潔凈烘箱優(yōu)化光刻膠的光學(xué)吸收特性，提高光刻膠對襯底的黏附性

外延片烘箱，氮氣潔凈烘箱延片將所述外延片放入烘箱中,在120℃～140℃的溫度下,將所述外延片烘烤10～30分鐘

墨點(diǎn)烘箱，墨點(diǎn)氮氣烘箱是半導體行業(yè)，芯片加工工藝流程中打墨點(diǎn)工藝后，將硅片放入烘箱進(jìn)行墨點(diǎn)烘干專(zhuān)用設備。

堅膜烘箱，氮氣堅膜烤箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進(jìn)行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷(如針孑L)因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。

無(wú)氧固化爐,高溫無(wú)氧化固化烤箱應用半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纖維熱處理。

雙腔無(wú)氧烤箱，兩箱無(wú)氧烘箱單腔內尺寸：W450×D450×H450，上下層兩個(gè)腔體，可定制其他尺寸，多腔體

鈮酸鋰無(wú)氧化烘箱用于半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于聚酰亞胺PI膠、CPI膠、BCB膠固化、低K電介質(zhì)固化，LCP材料熱處理、鍵合材料預處理，FOWLP扇出封裝，ITO膜/鋁/銅退火，PBO膠固化等特殊工藝。