潔凈無(wú)氧烘箱,氮氣無(wú)氧 烘箱用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。
后曝光氮氣烘箱,PEB無(wú)塵烘箱所使用的高溫(100-130°C)會(huì )使光敏化合物擴散,從而消除駐波波紋.百級潔凈度無(wú)塵化,專(zhuān)用于半導體,集成電路。
聚酰亞胺PI無(wú)氧烘箱,氮氣亞胺化烘箱應用于精密電子元件、PI、CPI/PBO/LCP/BCB膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求。
水冷無(wú)氧化烘箱,高溫無(wú)氧烘箱升溫方式:程序線(xiàn)性升溫 降溫方式:風(fēng)冷+水冷輔助降溫 氧含量:氧含量≤20ppm