HMDS烘箱是將晶圓表面暴露于蒸汽態(tài)的HMDS的方式氣相涂膠。氣相HMDS主要是用來(lái)增黏的作用。
HMDS中文名六甲基二硅氮烷,是一種有機物,在水中的溶解性很低,但它可與多種有機溶劑混溶,比如醇、醚和多數非極性溶劑。溶劑清洗:可以使用有機溶劑溶劑(如異丙醇)來(lái)清洗晶圓,以去除多余的HMDS。
HMDS烘箱的作用
HMDS烘箱也稱(chēng)為HMDS預處理系統,HMDS蒸鍍機等,是將HMDS蒸汽通過(guò)干燥的真空腔內加熱到一 定溫度,在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結合,使這樣的襯底表面具有疏水性。
HMDS烘箱性能
溫度范圍:RT+10-250℃
真空度:≤1torr
控制儀表:彩色觸摸屏控制,操作更加簡(jiǎn)單,方便
HMDS工藝:蒸汽氣相涂布
安全檢測:超溫保護,HMDS泄漏檢測提示
儲液瓶:HMDS儲液瓶
真空泵:無(wú)油渦旋真空泵
工作室(mm):300*300*300/450*450*450、定制