真空無(wú)氧烘箱的使用方法

真空無(wú)氧烘箱的應用案列?
?      半導體芯片加工過(guò)程中，隨著(zhù)頻率和速率的提高，如微電子加工領(lǐng)域，高速通信領(lǐng)域，對芯片尺寸大小、寄生效應參數、可靠性、絕緣性等要求越來(lái)越高，需要一種能滿(mǎn)足新型芯片產(chǎn)品加工的材料出現。而B(niǎo)CB（苯并環(huán)丁烯）就是滿(mǎn)足各種要求的良好性能材料，該光敏光刻膠具有介電常數低的特點(diǎn)。然而，BCB膠的固化工藝尤為重要。
?真空無(wú)氧烘箱的工藝要求：

1.在外延片表面上涂覆光敏BCB膠，采用光刻的方法在外延片表面形成光敏BCB膠圖形；

2.采用等離子體反應刻蝕處理外延片表面的光敏BCB膠；

3.將刻蝕后的外延片放入真空無(wú)氧烘箱中，通入N2→真空置換后，采用多級升溫保溫的方式，在規定的時(shí)間從室溫升至第一溫度階段，并在該溫度段保溫1-2h，再在規定的時(shí)間從第一溫度升至第二溫度階段，并在該溫度段保溫一定的時(shí)間；

4.隨后增通過(guò)輔助的降溫系統（水冷和風(fēng)冷），將退火爐的溫度降至80度左右，完成固化。
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?真空無(wú)氧烘箱，高溫無(wú)氧真空烤箱簡(jiǎn)介
     真空無(wú)氧烘箱是一種提供高溫、低氧、潔凈環(huán)境的特殊制程設備。烘箱內部為不銹鋼結構，全部采用無(wú)塵材料，箱內可充氮、真空，使烘箱工作室內處于低氧、潔凈狀態(tài)。工作室內溫度由溫控儀自動(dòng)控制，并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置，曲線(xiàn)升溫、恒溫、快速降溫。并附設有超溫斷開(kāi)加熱、氧含量檢測、輔助降溫裝置及報警電路，控制可靠，使用安全。
      真空無(wú)氧烘箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合材料預處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導體封裝、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。