真空無(wú)氧烘箱，無(wú)氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合前鍵合材料的真空處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。
真空無(wú)氧烘箱，無(wú)氧化真空烤箱簡(jiǎn)介：
真空無(wú)氧烘箱，無(wú)氧化真空烤箱是一種定制真空烤箱。將高純度氮氣充入烤箱內部，從而置換腔內空氣降低氧濃度，來(lái)防止部分物料在高溫環(huán)境下加速氧化的現象?？鞠涑槿≌婵蘸?，充入氮氣，再抽取真空，多次循環(huán)后可以確?？鞠涞墓ぷ魇姨幱跓o(wú)氧的狀態(tài)，避免活性較強的物料在高溫有氧的環(huán)境下被氧化而損壞。
無(wú)氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合前鍵合材料的真空處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。廣泛應用于半導體、電子產(chǎn)品、醫療衛生等行業(yè)，適用于工廠(chǎng)、高等院校、科研等場(chǎng)所。
真空無(wú)氧烘箱，無(wú)氧化真空烤箱技術(shù)指標：
工作室尺寸（mm） | 450×450×450，600×600×600，可定制 |
箱體材質(zhì) | 內箱采用316L醫用級不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑或不銹鋼 |
溫度范圍 | RT+10-300/400/500℃ |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫度波動(dòng)度 | ≤±1℃ |
升溫速率 | ≤5℃/min |
降溫速率 | 特殊要求數據 |
真空度 | ≤133pa或要求數據 |
電源 | AC220V、 380V±10% / 50HZ |
控制儀表 | 人機界面，可校準溫度控制器，PID自整定等功能 |
擱板層數 | 不銹鋼托盤(pán)2層或多層 |
真空泵 | 油泵/干泵自選 |
腔門(mén)密封圈 | 采用耐高溫硅橡膠密封圈 |
狀態(tài)指示燈 | 配有三色指示燈及蜂鳴器來(lái)提示機臺運行狀態(tài) |
氧含量 | 20PPM，可檢測，實(shí)時(shí)顯示 |
潔凈度 | Class100、1000級 |
降溫系統 | 風(fēng)冷+水冷 |
氮氣控制 | 可程序自動(dòng)控制 |
安全保護裝置 | 安全的接地保護裝置，超溫保護及報警裝置，漏電保護裝置 |
上海雋思儀器 專(zhuān)為半導體生產(chǎn)烘烤制程設備定做服務(wù)，無(wú)氧烤箱，真空無(wú)氧化烤箱，無(wú)氧真空烘箱，無(wú)塵烤箱，無(wú)塵無(wú)氧烤箱，真空無(wú)氧固化烤箱，PI烤箱，潔凈烘箱，氮氣烤箱，隧道烘爐，HMDS真空烤箱等。
